1. 漏率是把「紧」变成数
漏率 = 压力变化 × 容积 ÷ 时间，Q = Δp·V/Δt。1 m³ 容器 1 秒变 1 Pa，就是 1 Pa·m³/s。参照物：自行车内胎 4 L、30 天掉 1 bar，折合 1.5×10⁻⁴ Pa·m³/s；冰箱冷媒 10 g R134a 十年漏完，折合 7.1×10⁻⁷。冰箱比内胎严两百多倍，离半导体腔体仍差得远。「不漏」这句话，不落到数字上就没意义。
2. 压降法的坑一：它测的不只是漏
关阀看压力上涨，读数里有两部分：真实漏和壁面出气。出气随时间按 1/t 衰减，金属表面水汽经验式 q ≈ 3×10⁻⁹/t（小时），单位 mbar·L/(s·cm²)。刚洗完的腔体，前几小时出气可能比真实漏大几个量级，此时按 Q = Δp·V/Δt 算出来的是出气。要分清，先测本底出气率再扣除；省掉这步，给出的就是「漏 + 出气」的合计。
3. 坑二：单位差十倍
口语用 mbar·L/s，公式出 Pa·m³/s，1 mbar·L/s = 0.1 Pa·m³/s。把 1.5×10⁻⁴ Pa·m³/s 读成 1.5×10⁻⁴ mbar·L/s，等于自己把要求放宽十倍。合同里的单位，比什么都重要。
4. 坑三：温度
Q = Δp·V/Δt 只有三个量，没有温度项。原始资料未讨论温度对压升的影响，也未给修正公式（资料未涉及）。所以听到「压降法已做温度补偿」，先要公式；给不出就是没有。这也是我们不用压降法做最终判据的原因之一。
5. 氦检凭什么到 10⁻¹³
质谱室必须在 10⁻⁴ hPa 以下工作，该压力由仪器自带泵组维持。关键是涡轮泵：对空气压缩比极高、对轻气体低几个数量级，于是空气被挡在质谱室外、氦能进——涡轮泵在氦检里是选择性过滤器，不是抽气泵。结构分两路：逆流式量程 1 ~ 10⁻⁹ Pa·m³/s，产线最常用；主流式直接进气、灵敏度最高，但试件与仪器都要抽到 10⁻² hPa。另有石英窗型：硅片载体打几千孔、覆 7 µm SiO₂ 膜，只让氦渗透，检测限 5×10⁻⁹。
6. 三种做法各能到多少
真空法外部喷氦：< 5×10⁻¹³ Pa·m³/s，前提是试件抽空、外面扛 1000 hPa 压差。吸枪法：< 1×10⁻⁸，试件要耐过压。累积法（包壳集气）：主要用于 > 1×10⁻⁵，慢。三个数摆在一起，要 10⁻⁹ 以下的判定，只有真空法配质谱这一条路；吸枪法的地板在大气氦——空气里天然含 5 ppm 的氦。
7. 大腔体为什么检得慢
分子流区（< 10⁻³ hPa）快慢由试件容积和对氦的有效抽速决定，腔体越小、抽速越大越快；进入层流区（> 1 hPa）由前级泵抽速决定，明显更慢。同样的漏，大腔体等更久不是操作问题，是几何问题。响应时间算进去再排产，比事后解释强。
8. 现场三个误判源
大气氦 5 ppm，吸枪法的灵敏度地板，也是误报警主因；油封前级泵把氦溶进油再反扩散回高真空侧，检到大漏后读数持续虚高，开气镇排掉；强信号后不吹扫，石英窗机型可用大气经节流孔自动吹扫传感器，其他机型只能等。
9. 我们这边怎么做
出厂检漏用氦质谱，按项目图纸约定的判据执行。对外披露的能力是 1×10⁻⁹ Pa·m³/s 量级，每台都测、不抽检。方法口径参照 GB/T 36176-2018（氦质谱真空检漏方法）与 GB/T 32218-2015（真空系统漏率测试方法），报告随货。压降法在这里不作为验收判据，原因只有一条：它分不清漏和出气，也说不清温度误差。做过程判断和粗定位，压降法完全够用；要签字的那张纸，得用氦检。
检漏不是一道工序，是一个判据。判据写不清，报告就没有意义。判据按项目图纸约定，同一套判据适用于该项目的每一台腔体。
常见问题
压降法能代替氦检吗？
做过程判断可以，做验收判据不行：压降法分不清漏与出气，也没有温度修正项。要签字的那张纸，得用氦检。
氦检能做到什么量级？
真空法外部喷氦可到 5×10⁻¹³ Pa·m³/s 量级；我方出厂检漏按项目图纸判据执行，对外披露的能力是 1×10⁻⁹ Pa·m³/s 量级。
为什么大腔体检漏要等很久？
分子流区（<10⁻³ hPa）响应时间由试件容积与对氦的有效抽速决定（V/S）；进入层流区（>1 hPa）后由前级泵抽速决定，腔体越大越慢。